由于众所周知的原因，ASML对于出售光刻机给中国一直摇摆不定，不过2022年的业绩显示ASML出售给中国的光刻机大幅下降，这体现出中国正大幅减少采购ASML的光刻机，如果失去这个市场，那么ASML将面临较大的打击。
此前，武汉明院士在国际数科大会上，发表了自己关于中国制造光刻机的看法，他认为，如今世界最先进的EUV光刻机，不是中国能够凭借一己之力造出来的，为什么吴院士这样认为呢，因为，在一台光刻机中，拥有10万个精密零件，仅仅是其中的供应商就超过了5000家，而且遍及全球各国，现在荷兰的ASML公司所制造的EUV光刻机，也是欧美国家智慧的结晶，因此，吴院士认为，中国想靠自己研发出EUV光刻机不现实。
12月6日消息，台湾《经济日报》和联合新闻网近日同时发布报道称，11月26日在青岛正式投产的富士康集团首座晶圆级封测厂，引进多达46台上海微电子生产的28nm光刻机，并同时称这意味着大陆生产的光刻机实现从90nm到28nm的跨越。根据上海微电子官网资料显示，其主要生产 SSX600 和 SSX500 两个系列的光刻机。
来源：环球时报 【环球时报报道 记者 倪浩 李炫旻】据美国彭博社21日引述知情人士的话报道，荷兰半导体生产设备制造商阿斯麦（ASML）称，有能力远程瘫痪台积电位于台湾地区的最先进的极紫外光刻机（EUV）。
