2021年第五届大数据科学与工程国际会议在贵阳举行,中国工程院院士吴汉明在会议上表示,一台最高端的EUV光刻机里面大概有十万多零部件,价格大概是1亿多美元,全球供应商更是超过5000家,EUV光刻机是通过全世界的技术集成才做出来的。
光刻机是芯片制造的核心设备,全球能生产该设备的只有四家厂商,我国的上海微电子、日本的尼康、佳能,以及荷兰的ASML,不过,在中高端光刻市场,ASML几乎处于垄断地位,尤其是EUV设备,只有它一家有实力量产。
此前,武汉明院士在国际数科大会上,发表了自己关于中国制造光刻机的看法,他认为,如今世界最先进的EUV光刻机,不是中国能够凭借一己之力造出来的,为什么吴院士这样认为呢,因为,在一台光刻机中,拥有10万个精密零件,仅仅是其中的供应商就超过了5000家,而且遍及全球各国,现在荷兰的ASML公司所制造的EUV光刻机,也是欧美国家智慧的结晶,因此,吴院士认为,中国想靠自己研发出EUV光刻机不现实。
美国对华为的芯片制裁,让我们意识到,在当今这个时代,要想实现技术独立,就必须实现芯片的国产化。然而,目前我们只能独自制造出一些工艺较为落后的芯片,对高端芯片的制造却是束手无策,究其原因,就是EUV光刻机被卡了脖子,所以,EUV光刻机的研制进程牵动了无数国人的心。