截至2025年3月31日 13:54，中证半导体材料设备主题指数下跌0.93%。成分股方面涨跌互现，江化微领涨1.73%，至纯科技上涨1.50%，中科飞测上涨1.40%；广立微领跌5.11%，神工股份下跌4.34%，中晶科技下跌3.24%。半导体材料ETF(562590)下跌1.
