1.1 MEMS陀螺仪设计流程图 3.1 结构设计原则 图 3.2 结构设计部分图 3.3 结构设计方法 作用：进行结果的相互对比、验证与校核1.2 MEMS陀螺仪工艺方法常用的MEMS器件加工工艺方法：1、表面工艺*先在衬底表面生长薄膜，通过对薄膜进行光刻、刻蚀等形成结构。
公司成立于2012年，基于半导体的行业积累，独创的微纳结构设计，采纳先进的MEMS工艺，特有的封装方案以及现代化的管理模式和完善的人才积累，融合集成电路与传统高端惯性行业，促进惯性传感器、压力传感器等传感器向智能化、微型化、易用化、本土化、IC化发展。
芯动联科:是国内MEMS陀螺仪目前唯一上市企业，其产品供应国企央企等高端领域。目前，公司已形成自主知识产权的高性能 MEMS 惯性传感器产品体系并批量生产及应用，在 MEMS 惯性传感器芯片设计、MEMS 工艺方案开发、封装与测试等主要环节形成了技术闭环，建立了完整的业务流程和供应链体系。
重庆天箭惯性科技股份有限公司成立于1997年，迄今已有20年的发展历史，是一家从事惯性导航系统、光学控制系统、导弹制导控制一体化组件的产品研制、生产和服务的高新技术企业，是武器装备科研生产二级保密单位。
