每经AI快讯,3月26日,据中微公司官微消息,近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司宣布通过不断提升反应台之间气体控制的精度,ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star®又取得新的突破,反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A(亚埃级)。
集微网消息,3日晚央视大型纪录片《大国重器》第二季第六集《赢在互联》重磅播出,中微半导体设备(上海)有限公司的7纳米芯片刻蚀机荣幸被收录其中,引发了业界关注。现阶段半导体产业能量产的最先进的工艺节点是7nm,台积电全面领先。