近年来,特别是2019年以来,荷兰政府等西方国家开始加强对向中国出口高端光刻机的限制。2021年1月,荷兰政府要求ASML停止向中国出口其最新的DUV光刻机。2024年,ASML被进一步限制,不得向中国发运NXT:2000i及以上分辨率的浸润式DUV光刻机。
在芯片制造的世界里,有一个“大块头”一直是中国科技界的心头痛,它就是光刻机,被誉为“芯片之母”。根据工信部宣布,国产氟化氩光刻机已经问世,这似乎意味着我们终于可以摆脱“卡脖子”的困境了,但事情似乎没那么简单,国产光刻机真的能与ASML的一较高下吗?
2024年,当中国宣布在DUV光刻机领域取得突破性进展,成功研发出28纳米制程的光刻机时,整个科技界都为之震动,这项被誉为“现代工业皇冠上的明珠”的技术,一直以来都被西方国家牢牢掌握,成为制约中国芯片产业发展的一道难以逾越的鸿沟,如今,中国终于迈出了自主研发光刻机的关键一步,打破了西方的技术封锁,这对于中国乃至全球的科技格局都将产生深远的影响。