我们已经知道晶圆加工工序分别是氧化—光刻—刻蚀—抛光—掺杂和 CVD 沉积/PVD沉积—晶圆中测,主要涉及到的生产设备分别是氧化炉、光刻机、刻蚀机、 CMP 抛光机、离子注入机、薄膜沉积设备、清洗机和检测机等。
根据 Wind 数据,2021 年全球集成电路的市场规模为 4608 亿美元,占半导体规模的83%。SEMI 预估 2021 年全球晶圆制造设备、封装设备、测试设备市场规模分别为 880.1/69.9/77.9 亿美元,分别占比 86%/7%/7%,细分应用来看,逻辑代工占据晶圆制造设备的主要份额,达 493 亿美元,占比 56%。